秉承多元化的企业文化传统，中微已经吸引了全球众多高素质的工程师和行业专家参与研发过程、提供解决方案，以满足多元化客户的需求。 

中微成立11年，已拥有了世界一流的创新能力，并一直致力于对研发的投入，以期快速、及时地研发出具有领先技术的创新产品。

■本报记者 王延浦东报道

中微半导体设备（上海）有限公司的总部位于金桥出口加工区南区，该公司的主营业务是半导体设备制造，去年公司出口的产品可占到中国泛半导体设备出口总额的约75%。该公司也是去年集成电路产业基金成立后，首批获投资的公司之一。 

日前，记者走进中微，专访了公司董事长兼首席执行官尹志尧。 

人类掌握的最复杂工艺

“集成电路的微观加工是第二代工业革命，也就是信息革命的核心，也是下一代工业革命的基础，是目前为止人类开发出来的最复杂的工艺。”尹志尧说，“如今最前沿的集成电路制造工艺14到16纳米已进入大生产。中微开发的等离子体刻蚀设备每年要加工10个微观的孔或线条等微观结构，每个微观结构加工尺度的精准度、均匀性和重复性要达到头发丝的五万分之一。一个14纳米的芯片要1000多个工艺步骤才能做出来，其中等离子体刻蚀就要60多个步骤。公司正在开发的10纳米器件加工，则要100多个刻蚀步骤。而每一步的合格率要达到99.9%以上。形象一点说，芯片的制造，就好像在头发丝里面建造一幢幢上海中心大厦。 

尹志尧介绍称，在半导体设备行业中，约有十种细分产品，分别对应光刻、等离子刻蚀和化学薄膜这三大芯片前端加工过程的核心技术。中微从芯片前端的纳米等离子介质刻蚀机起步，已将产品链拓展到芯片后端先进封装、照相机芯片、传感器制造所用的硅通孔刻蚀机，以及制造发光二极管的关键设备MOCVD等，从单一的半导体前端设备起步，公司逐渐发展成为多元产品的微观加工设备公司。 

其中，中微的第二代去耦合等离子介质刻蚀机在去年的工博会上荣获四个金奖中的第二名，该设备已在多个国际最先进的生产线，用于28到16纳米工艺的生产。部分工艺已可达10纳米节点，超前当下国内芯片制造工艺水平至少两代。 

又如利用中微化学薄膜技术积累推出的MOCVD设备，可以连续加工上百批LED，已被国内最先进的LED生产线核准，进入大生产，是国际业界仅有的可以做到该水平的两种设备之一。 

在不对称竞争中求发展 

数据统计显示，从2009年中微的介质等离子刻蚀机获得国际一流的晶圆厂核准，进入其生产线以来，中微实现了快速增长。2012年开始，中微的销售额保持了年均40%的增长速度。中微的三大设备已有近400个反应器和反应台在国内外30多条生产线上，成功地加工了1900万片合格的晶圆。2013年，该公司的设备产品出口占到中国泛半导体出口的64%，其中国内高端设备出口几乎全部来自中微的贡献。2014年，中微设备出口较前一年提高了60%，达到国内泛半导体设备出口的75%以上。 

能取得这样的成绩，中微可谓是“在不对称竞争中求发展”，因为在高技术领域，可以有成千上万的软件、网络和电商企业，可以有成千上万的电子产品公司，也有成千上万的芯片设计公司和几百家芯片制造公司，但能够开发出纳米加工设备的公司，目前国际上只有不到10家，而其中能有等离子体刻蚀和薄膜设备的公司只有3家。 

尹志尧说，在公司创立的2004年，他们的目标市场，即半导体高端制造设备领域，已经出现了明显的产业集中和寡头垄断的局面——美国应用材料、美国科林（LamResearch）和日本东京电子三大公司的年销售额已达到几十亿到百亿美元，几乎占据了90%以上的市场。 

中微创立的第三年到第五年，美国两大设备公司分别以商业机密和专利侵权对中微提起商业诉讼，中微都有很好的应对，最终法院通过一审、二审、三审和终审，驳回了美国两大公司的诉讼，并裁定他们的两个专利无效。 

中微能够快速成长，是拥有一批国际一流的“真枪实干”的专家。以尹志尧为例，他在上一个世纪80年代，从英特尔的中心技术开发部转到科林公司，帮助科林公司在80年代末到90年代初达到了40%以上的世界市场份额，确立了等离子体刻蚀在全球的领先地位。1991年，他又被美国应用材料公司特别聘用，先后担任等离子体刻蚀设备产品总部首席技术官、总公司副总裁，以及等离子体刻蚀事业群总经理。在他和同事的努力下，2000年，公司销售达到100亿美元，等离子体刻蚀设备产品年产值达到16亿美元，占应用材料设备产品年销售的20%，占世界等离子体刻蚀市场40%以上，再次取得了世界市场的领先地位。 

2004年8月，在尹志尧的带领下，硅谷15位资深的技术和管理同仁，在上海政府的大力支持下一同回国，创建了中微。这个团队里有国际一流的企业管理专家杜志游、等离子体刻蚀专家倪图强和麦仕义、系统软件专家杨伟、电子电控专家李天笑、反应器设计专家何乃明、供应链管理专家维克·麦克萨万等。后来又有朱新萍、KIYoon、KHKoh等100多个国际一流的销售和售后服务专家加盟。“因此我们才有可能在很短的时间内做出和国际企业一样好甚至更好的设备，并全面打入市场。”尹志尧说。

值得一提的是，中微在经历了两次海外风投之后，国内的风投机构也开始参与投资。特别是随着集成电路产业上升到国家战略后，国内的风投逐渐成为投资主力。在中微的第三次融资中，就有上海创投和浦东科投的投资；第四次融资主要是由上海创投和国开金融完成。 

中微的第五次，也是最近的一次融资，除继续得到上海创投的投入外，还有来自国家集成电路产业投资基金的投资。 

所有员工都有期权 

翻开目前中微核心成员的简历，便会发现他们大多有深厚的或技术、或市场、或运营的经验。目前，中微100多个核心团队成员的行业经验可达2500年，并且大部分是在硅谷半导体产业大发展时期在设备方面的主力和领跑者。 

谈及2500年这个数字，尹志尧笑言：“有经验是好事，就是平均年纪大了点。”但从目前看来，在半导体这样的专业领域，从业时间越长就越有经验。当然，中微也一直在积极培养国内的员工，有不少已被提拔为部门主任级干部，成为公司管理的中坚力量。 

中微不仅所有员工都持有公司股票期权，在薪酬制度上也很有特色。包括董事长和首席执行官在内，每一级的持股数量不超过其下一级的20%，工资不能超过10%。再往下每一级皆是如此，这已经成为一条规则。在公司的产品和市场决策中领导集团有主要的决定权，但在员工的薪酬、业务考核、晋级等方面，中微采用民主评定。尹志尧称这些管理的理念和制度是“中微特色的社会主义”，这样的一种文化和制度使中微上下一致，形成有战斗力的团队，不断取得产品、市场和业务的高速发展。